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光伏晶锭制造常用真空泵
在光伏晶锭制造过程中,常用的真空泵有以下几种:
螺杆式真空泵
特点:具有抽气速率大、极限真空度高、无油污染、运行稳定可靠、维护成本低等优点。
应用场景:在晶锭生长的真空炉中股票申请配资,用于快速建立并维持高真空环境,为晶锭生长提供稳定的真空条件,确保生长过程不受外界气体干扰。
旋片式真空泵
特点:结构简单、体积小、价格相对较低,能达到中等真空度,适用于对真空度要求不是极高的环节。
应用场景:可作为晶锭制造中一些辅助设备的真空泵,如用于小型真空干燥箱,对晶锭生产过程中的原材料或辅助材料进行干燥处理,去除水分和挥发物。
涡旋式真空泵
特点:运行噪音低、振动小、抽气平稳、无油污染,能适应一定的粉尘环境。
应用场景:在晶锭制造车间,对于一些对环境要求较高、需要安静运行的区域,如实验室或小型单晶炉,涡旋式真空泵可用于提供真空环境,同时不会产生较大的噪音和振动干扰。
罗茨真空泵
特点:具有抽气速率快、能在短时间内达到较高真空度的特点,但通常需要与前级真空泵配合使用。
应用场景:常与旋片式真空泵或螺杆式真空泵组成机组,用于大型单晶炉或多晶炉的快速抽气阶段,先由罗茨真空泵快速将炉内气体抽出,使真空度迅速提升,再由前级泵维持稳定的真空度。
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